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半導體設備

光刻固化無氧干燥箱

應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,結合同類產品技術和我們長期從事烤箱的工作經驗,而專門設計。

  • 產品信息

適用范圍:應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,結合同類產品技術和我們長期從事烤箱的工作經驗,設計而成。

主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點;優質的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻;吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。


產品型號

型號

MOLYY-120

MOLYY-175

MOLYY-288

MOLYY-512

內尺寸(mm

W600*H450*D450

W700*H500*D500

W800*H600*D600

W800*H800*D800

層板數

二層

三層


技術指標與基本配置
   使用溫度:RT~400℃,溫度上限:450℃;
     單個爐膛有效尺寸:800×600×600mm(W×H×D);700*500*500mm(W×H×D)等等
     爐膛腔數:2個,上下布置;

      爐膛材料:SUS321鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:

      空爐升溫時間:1.5h;

     空爐降溫時間:300℃-50℃降溫時間1.5-3.5小時(采用水冷翅片散熱器);

     溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀;


氧含量(配氧分析儀)

     高溫狀態氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;

         低溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量


控溫穩定度:±1℃;溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);


事件輸出:
   配置PLC,可實現多事件輸出控制氣氛、水等開關和報警;
     控制:上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;
     控溫儀表:日本島電FP93溫控儀;
     控溫段數:4×10段;控溫點數:2點;
     超溫報警點數:2點;檢測點數:2點;

     報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;電機保護:電機過電流、水冷保護; 表面溫升:<30℃;


真萍科技作為專業的烘烤制成設備制造廠商,可根據客戶工藝需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908。

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